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气相沉积实验炉:气相沉积实验炉烘炉不够势必影响使用
发布时间:2019-08-02   点击次数:30次
  气相沉积实验炉:气相沉积实验炉烘炉不够势必影响使用
 
  气相沉积技术是利用气相中发生的物理、化学过程,在工件表面形成功能性或装饰性的金属、非金属或化合物涂层,按照成膜机理,气相沉积技术可分为化学气相沉积、物理气相沉积和等离子体气相沉积,随着技术的不断进步,气相沉积被广泛应用于刀具(硬涂层)、集成电路、介质隔离等领域。
 
  1、物理气相沉积:物理气相沉积是通过蒸发,电离或溅射等过程,产生金属粒子并与反应气体反应形成化合物沉积在工件表面,物理气象沉积方法有真空镀,真空溅射和离子镀三种,目前应用较广的是离子镀。离子镀是借助于惰性气体辉光放电,使镀料(如金属钛)气化蒸发离子化,离子经电场加速,以较高能量轰击工件表面,此时如通入CO2,N2等反应气体,便可在工件表面获得TiC,TiN覆盖层,硬度高达2000HV。
 
  2、化学气相沉积:将工件置于反应室中,抽真空并加热至900~1100℃。如要涂覆TiC层,则将钛以挥发性氯化物(如TiCl4)与气体碳氢化合物(如CH4)一起通入反应室内,这时就会在工表面发生化学反应生成TiC,并沉积在工件表面形成6~8μm厚的覆盖层。工件经气相沉积镀覆后,再进行淬火,回火处理,表面硬度可达到2000~4000HV。
 
  气相沉积实验炉为开式结构,炉体采用炉丝加热的方式,并使用耐高温陶瓷作为炉体材料,保证了其良好的加热稳定性和温度均匀性。该装置中石英管两端配置相应的法兰接头,可进行气体处理以及真空处理,被广泛应用于催化剂样品的处理以及有机物的气相沉积中,如应用于纳米氮化物、纳米氧化物、碳纳米管、石墨烯等材料的生长研究中。
 
 
  
  气相沉积实验炉是一款比较常用的工业电炉,相比于传统的工业电炉,气相沉积实验炉具有以下特征:
 
  1、气相沉积实验炉采用多温区独立控温,温度均匀性好;
 
  2、气相沉积实验炉采用特殊结构沉积室,密封效果好,抗污染能力强;
 
  3、气相沉积实验炉采用多通道沉积气路,流场均匀,无沉积死角,沉积效果好;
 
  4、气相沉积实验炉对炭沉积过程中产生的焦油、固体粉尘、有机气体等能进行有效处理。
 
  在气相沉积实验炉的使用中,尤其是首次使用,必须进行烘炉。烘炉的时间应为室温200℃四小时。200℃至600℃四小时。使用时,炉温最高不得超过额定温度,以免烧毁电热元件。禁止向炉内灌注各种液体及易溶解的金属,马弗炉最好在低于最高温度50℃以下工作,此时炉丝有较长的寿命。
 
  气相沉积实验炉厂家概述:
 
  澳门美高梅是由具备10多年研发和生产经验的技术团队于2013年8月8日注册成立,注册资金1000万元。专业从事超高温真空炉、工业炉、实验电炉、硬度计、材料试验机等材料制备检测仪器的研发、生产和销售;以先进的设计思路、精湛的制作工艺和强大的科研实力为军工航天、研究所、大学、工厂企业从材料研发到规模生产提供整套解决方案。
 

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