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气相沉积实验炉

简要描述:

气相沉积实验炉为沉积炉主体内有加热室,水冷电极,测温热电偶,是处理工件的核心部分。

  气相沉积技术是利用气相中发生的物理、化学过程,在工件表面形成功能性或装饰性的金属、非金属或化合物涂层。气相沉积技术按照成膜机理,可分为化学气相沉积、物理气相沉积和等离子体气相沉积。
 
  1、化学气相沉积(CVD):将工件置于反应室中,抽真空并加热至900~1100℃。如要涂覆TiC层,则将钛以挥发性氯化物(如TiCl4)与气体碳氢化合物(如CH4)一起通入反应室内,这时就会在工表面发生化学反应生成TiC,并沉积在工件表面形成6~8μm厚的覆盖层。工件经气相沉积镀覆后,再进行淬火,回火处理,表面硬度可达到2000~4000HV。
 
  2、物理气相沉积(PVD):物理气相沉积是通过蒸发,电离或溅射等过程,产生金属粒子并与反应气体反应形成化合物沉积在工件表面。物理气象沉积方法有真空镀,真空溅射和离子镀三种,目前应用较广的是离子镀。离子镀是借助于惰性气体辉光放电,使镀料气化蒸发离子化,离子经电场加速,以较高能量轰击工件表面,此时如通入CO2,N2等反应气体,便可在工件表面获得TiC,TiN覆盖层,硬度高达2000HV。离子镀的重要特点是沉积温度只有500℃左右,且覆盖层附着力强,适用于高速钢工具,热锻模等。
 
  气相沉积实验炉为沉积炉主体内有加热室,水冷电极,测温热电偶,是处理工件的核心部分。
 
  气相沉积实验炉产品优势以及特点:
 
  气相沉积实验炉采用多温区独立控温,温度均匀性好;
 
  气相沉积实验炉采用特殊结构沉积室,密封效果好,抗污染能力强;
 
  气相沉积实验炉采用多通道沉积气路,流场均匀,无沉积死角,沉积效果好;
 
  气相沉积实验炉对炭沉积过程中产生的焦油、固体粉尘、有机气体等能进行有效处理。

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